电子束论文

电子束曝光机偏转系统

一、电子束曝光机的偏转系统（论文文献综述）刘珠明,顾文琪[1]（2005）在《衍射现象对高精度偏转器设计的影响》文中进行了进一步梳理基于波动光学理论,计算了由衍射、球差和色差三...